Österreich 2020

High-End-Reinst­wasseranlage für die Halbleiter­industrie

Aufgabe war es, für einen namhaften Halbleiterhersteller in Mitteleuropa eine High-End-Reinstwasseranlage zur Aufbereitung von Brunnenwasser auszuführen.

Erarbeitete Lösung

Die vorgesehene Cold-Loop-Leistung ist 300 m³/h, erweiterbar auf 450 m³/h, die vorgesehene HOT-Loop-Leistung ist 75 m³/h, erweiterbar auf 150 m³/h.

Angewandte Verfahrens­kombination

Die größte technische Herausforderung in diesem Projekt war nicht die Verfahrenstechnik als solche, da die Anlage in einer Technik ausgeführt ist, die H+E seit Jahren bestens beherrscht. Das Besondere an diesem Projekt war eine Anlage mit dieser Kapazität auf dem vorgegebenen Raum und in relativ kurzer Projektlaufzeit zu realisieren.

Zu Beginn der Corona-Pandemie im Frühjahr 2020 eine Großbaustelle zu eröffnen, war eine ganz eigene Herausforderung.

Besonders anspruchsvoll während der Bauphase war es, vorgefertigte 75-m³-Behälter auf engstem Raum und unter hohem Zeitdruck einzubringen und nebenbei die Koordination mit anderen zeitgleich zu errichteten Gewerken zu bewerkstelligen. Dies erforderte ein sehr straffes Projektmanagement.

Die vorgegebenen Wasserspezifikationen wurden erreicht, Einzelwerte wurden übertroffen und werden im Dauerbetrieb zuverlässig erreicht.

Weitere Details entnehmen Sie bitte unserer Referenz.

Zahlen & Fakten:

  • Widerstand: > 18,1 MOhm x cm bei 25 °C
  • TOC: < 1,0 ppb
  • Metallionen: < 5 ppt
  • Bor: < 50 ppt
  • Loopleistung: 300 m³/h, Verbrauch: 200 m³/h
  • HOT-DI-Anlage 70 °C: Leistung 80 m³/h