In der Halbleiterindustrie werden zu Produktions- und Spülprozessen große Mengen an hochreinem Wasser verwendet. Gleichzeitig entsteht ein Äquivalent an Abwasser, das sehr unterschiedlich verunreinigt ist. Diese Abwasserströme werden nach den ihren Inhaltsstoffen getrennt und separat gesammelt. Gering belastete Teilströme, beispielsweise aus den letzten Spülschritten der Wafer, lassen sich zurückgewinnen. Dies gilt insbesondere dann, wenn sie sehr niedrige TOC-Konzentrationen aufweisen. Die höher belasteten Abwässer werden gezielt aufbereitet. In beiden Fällen wird die Aufbereitungsanlage individuell an die jeweiligen Abwasserzusammensetzungen angepasst.
HF-Abwasserbehandlung für die Halbleiter- und Solarzellenproduktion
Für die Ätzprozesse während der Herstellung sind große Mengen an Flusssäure (HF) nötig, die sich später im Abwasser wiederfinden. Bevor die Abwässer eingeleitet oder wiederverwendet werden können, müssen die Flusssäure und ihre Salze entfernt werden. Das im Abwasser enthaltene Fluorid wird wiederum durch Zugabe von Kalkmilch oder Calciumchlorid in Form von Calciumfluorid ausgefällt. Bei diesem Prozessschritt entsteht Calciumfluoridschlamm, der entwässert und entsorgt wird.
CMP-Abwasserreinigung für die Halbleiterproduktion
Bei der Planarisierung der Wafer-Oberflächen fallen Abwässer an, die Schleifhilfsmittel und Kupferionen aus den abgetragenen Kupferbeschichtungen enthalten. Die verbrauchten Slurries und Hilfsstoffe führen im Abwasser zu hohen Konzentrationen an Feststoffpartikeln.
Um das Abwasser später einleiten zu können, werden die in ihm enthaltenen Kupferionen mittels Fällung und Flockung entfernt. Den erzeugten metallhaltigen Schlamm gilt es anschließend zu entwässern und zu entsorgen. Die nachgeschalteten Selektiv-Ionenaustauscher entfernen das Kupfer bis auf die vorgeschriebenen Einleitgrenzwerte.
Neutralisation für die Halbleiter- und Solarzellenproduktion
In aller Regel überschreiten die Abwässer aus den vorgenannten Teilstrombehandlungen noch den pH-Bereich, der für die Einleitung zulässig ist. Daher durchlaufen diese Abwässer zusammen mit anderen gering kontaminierten Spülwässern noch eine mehrstufige Neutralisation. Erst danach dürfen sie in die Kanalisation eingeleitet werden.
In Abhängigkeit vom Durchsatz und der standortspezifischen Abwasserzusammensetzung optimieren wir Konzept und Design unserer Anlagen auf Ihre individuellen Anforderungen und Wünsche.
